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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种氮化钽薄膜及其制备方法	发明专利	CN202111389072.6	CN114150281A	2022-03-08
2	一种氮化钽薄膜的制备方法	发明专利	CN201911023958.1	CN110783049A	2020-02-11

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1	-	www.sunrotek.com	京ICP备20024115号	企业	2020-07-01

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