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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种光刻胶及其制备方法和应用以及光刻方法	发明专利	CN201811265920.0	CN109212919B	2022-02-08
2	一种抗蚀剂下层膜单体和组合物及图案形成方法	发明专利	CN201910387117.2	CN110054594B	2021-07-13
3	一种抗蚀剂下层膜单体和组合物及图案形成方法	发明专利	CN201910387117.2	CN110054594A	2021-07-13
4	一种硬掩膜单体和组合物及图案形成方法	发明专利	CN201910387089.4	CN110041286B	2021-03-19
5	一种光刻胶生产用管道仪表阀门	实用新型	CN201921368594.6	CN210623584U	2020-05-26
6	一种全自动光刻胶灌装装置	实用新型	CN201921368644.0	CN210620222U	2020-05-26
7	一种光刻胶灌装机灌装内部洁净装置	实用新型	CN201921368645.5	CN210620199U	2020-05-26
8	一种光刻胶自动贴标装置	实用新型	CN201921368841.2	CN210618730U	2020-05-26
9	一种用于光刻胶生产的自动进料设备	实用新型	CN201921368667.1	CN210511058U	2020-05-12
10	一种用于光刻胶生产的混合设备	实用新型	CN201921368642.1	CN210496093U	2020-05-12

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