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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种深紫外外延芯片加工用划片机	发明专利	CN202011428683.2	CN112542407A	2021-03-23
2	一种深紫外芯片外延芯片封装结构装置	发明专利	CN202010879457.X	CN111969090A	2020-11-20
3	一种电子器件芯片切削用辅助装置	实用新型	CN201922138714.X	CN211438149U	2020-09-08
4	一种LED芯片生产用荧光层涂覆装置	实用新型	CN202020163256.5	CN211428192U	2020-09-04

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