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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	化学气相沉积设备	发明专利	CN201811055932.0	CN110885973A	2020-03-17
2	化学气相沉积设备	实用新型	CN201821482261.1	CN209010598U	2019-06-21

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