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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	MEMS结构的制造方法	发明专利	CN201510686572.4	CN106608614B	2022-03-04
2	一种硅电容麦克风的电气连线结构及其电气连线方法	发明专利	CN201510092043.1	CN105992115B	2021-09-21
3	一种应用柔性背极的硅电容麦克风	发明专利	CN201510242784.3	CN104853300B	2021-05-28
4	一种硅电容麦克风	发明专利	CN201410666070.0	CN105681990B	2019-09-10
5	一种硅电容式麦克风及其制备方法	发明专利	CN201410078845.2	CN104902410B	2019-09-03
6	MEMS器件检测方法	发明专利	CN201510925570.6	CN106872816B	2019-06-04
7	一种自校准硅麦克风装置和校准方法	发明专利	CN201410490133.1	CN105491492B	2019-04-26
8	一种硅电容麦克风	发明专利	CN201410782518.5	CN105764017B	2019-01-29
9	一种硅电容麦克风	发明专利	CN201410681739.3	CN105611474B	2019-01-29
10	一种两线硅麦克风放大器	发明专利	CN201410384007.8	CN105450191B	2019-01-29

共 13 页

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