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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	直拉硅单晶炉装置及硅单晶拉制方法	发明专利	CN201010166018.0	CN102234836B	2014-04-09
2	直拉硅单晶炉装置及硅单晶拉制方法	发明专利	CN201010166018.0	CN102234836A	2011-11-09
3	硅片线切割方法及其装置	发明专利	CN200810132919.0	CN101618519B	2011-09-14
4	硅片线切割方法及其装置	发明专利	CN200810132919.0	CN101618519A	2010-01-06

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