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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	电学测试监控反馈式化学气相沉积系统及其应用	发明专利	CN201911283328.8	CN110983292A	2020-04-10
2	一种拉曼光谱仪监控反馈式化学气相沉积系统及应用	发明专利	CN201911282239.1	CN110923674A	2020-03-27

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