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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	SiC材料外延生长设备	实用新型	CN202022618985.8	CN213835528U	2021-07-30
2	CVD处理系统	实用新型	CN202022618984.3	CN213507189U	2021-06-22
3	CVD处理系统及处理方法	发明专利	CN202011267840.6	CN112391608A	2021-02-23

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