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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种热压烧结装置的加热及测温单元	实用新型	CN202120635053.6	CN214842395U	2021-11-23
2	一种碳碳化硅陶瓷靶坯的制备方法	发明专利	CN202110454130.2	CN113135756A	2021-07-20
3	一种碳化硅复合靶材及其制备方法	发明专利	CN202110287506.5	CN112811908A	2021-05-18

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