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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种多晶硅设备的化学络合清洗方法	发明专利	CN201510715726.8	CN105256320B	2018-04-27
2	一种多晶硅设备的化学络合清洗方法	发明专利	CN201510715726.8	CN105256320A	2018-04-27
3	一种多晶硅管道类设备清洗装置	实用新型	CN201520627229.8	CN205008326U	2016-02-03
4	一种冷凝器/换热器清洗装置	实用新型	CN201520627564.8	CN204963668U	2016-01-13
5	一种精馏塔清洗装置	实用新型	CN201520627565.2	CN204952332U	2016-01-13
6	一种节水型冷却塔	实用新型	CN201520627228.3	CN204923940U	2015-12-30
7	一种多晶硅储罐类设备清洗装置	实用新型	CN201520628607.4	CN204912220U	2015-12-30
8	一种吸附器清洗装置	实用新型	CN201520627098.3	CN204912164U	2015-12-30

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