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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	在线制备二氧化碳离子水的方法及其装置	发明专利	CN200810024475.9	CN100563804C	2009-12-02
2	光掩模清洗机的工艺处理舱	实用新型	CN200820034064.3	CN201177730Y	2009-01-07
3	光掩模清洗机的液体分配盘	实用新型	CN200820034063.9	CN201175710Y	2009-01-07
4	在线制备二氧化碳离子水的方法及其装置	发明专利	CN200810024475.9	CN101244863A	2008-08-20

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