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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种铜钼合金的蚀刻液组合物及蚀刻方法	发明专利	CN202110224955.5	CN113026018A	2021-06-25
2	一种改进的草酸铟溶解剂组合物及蚀刻设备清洗工艺	发明专利	CN202110224947.0	CN113025333A	2021-06-25

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