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专利信息3

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种单源同轴多向激光测距装置及测距方法	发明专利	CN202111001280.4	CN113933850A	2022-01-14
2	一种内置传送机构的级联真空腔装置及传送方法	发明专利	CN202111000882.8	CN113879846A	2022-01-04
3	一种圆环pcb电路板的光学检测系统与检测方法	发明专利	CN202011084721.7	CN112161573A	2021-01-01

软件著作权5

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	华研芯测半导体量检成像控制系统软件	-	V1.0	2021SR1518924	-	2021-08-27	2021-10-18
2	华研芯测图像检测与智能分析系统软件	-	V1.0	2021SR1518856	-	2021-08-27	2021-10-18
3	华研芯测半导体量检系统整机状态监测系统软件	-	V1.0	2021SR1518855	-	2021-08-27	2021-10-18
4	华研芯测3轴运动平台精确控制系统软件	-	V1.0	2021SR1518854	-	2021-08-27	2021-10-18
5	华研芯测半导体量检精准智能成像系统软件	-	V1.0	2021SR1518829	-	2021-08-27	2021-10-18

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