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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种新型自动化旋涂加热设备	实用新型	CN201922287181.1	CN211538427U	2020-09-22
2	一种新型旋涂设备	实用新型	CN201922287091.2	CN211359436U	2020-08-28
3	用于硅片批量清洗的清洗装置	实用新型	CN201922287098.4	CN211160969U	2020-08-04
4	一种纳米模板用拼板压印机	实用新型	CN201922287127.7	CN210835583U	2020-06-23
5	一种防溢胶粘连装置	实用新型	CN201922287114.X	CN210835582U	2020-06-23
6	一种均匀纳米压印设备	实用新型	CN201922287110.1	CN210803965U	2020-06-19
7	真空负压纳米压印方法	发明专利	CN201610790060.7	CN106200262A	2016-12-07

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