商标信息3
专利信息11
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种增加研磨液边缘流量均匀的护圈 | 实用新型 | CN202022138616.9 | CN213106347U | 2021-05-04 |
2 | 一种疏水性能优异的半导体加工装置 | 实用新型 | CN202022138670.3 | CN212750826U | 2021-03-19 |
3 | 一种改变接触表面硬度的护圈 | 实用新型 | CN202022135764.5 | CN212750824U | 2021-03-19 |
4 | 一种边缘易拆卸的压力膜 | 实用新型 | CN202021713474.8 | CN212725267U | 2021-03-16 |
5 | 一种研磨头离线测试平台及方法 | 发明专利 | CN201910910803.3 | CN110553803A | 2019-12-10 |
6 | 一种腔体观察分析装置 | 实用新型 | CN201920677086.X | CN209607708U | 2019-11-08 |
7 | 一种可排水的护圈 | 实用新型 | CN201920513241.4 | CN209447770U | 2019-09-27 |
8 | 一种改变离子束方向的装置 | 发明专利 | CN201811563816.X | CN109786194B | 2019-05-21 |
9 | 一种改变离子束方向的装置 | 发明专利 | CN201811563816.X | CN109786194A | 2019-05-21 |
10 | 一种无电流多分区可拆卸感应装置 | 发明专利 | CN201811559502.2 | CN109648460A | 2019-04-19 |
软件著作权8
序号 | 软件名称 | 软件简称 | 版本号 | 登记号 | 分类号 | 首次发表日期 | 登记批准日期 |
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1 | 集成电路制造部门管理软件 | 集成电路制造部门管理 | V1.0 | 2020SR0948241 | - | - | 2020-08-19 |
2 | CMP平坦化设备管理软件 | CMP平坦化设备管理 | V1.0 | 2020SR0948180 | - | - | 2020-08-19 |
3 | iFAB扫描读取后台管理系统 | iFAB移动扫描读取 | V1.0 | 2020SR0946029 | - | - | 2020-08-18 |
4 | iFAB远程设备监控系统 | iFAB远程设备监控 | V1.0 | 2020SR0946022 | - | - | 2020-08-18 |
5 | 研磨头离线测试软件 | 研磨头离线测试 | V1.0 | 2020SR0945891 | - | - | 2020-08-18 |
6 | iFAB抛光头物料跟踪软件 | iFAB抛光头物料跟踪 | V1.0 | 2019SR0708902 | 10100-0000 | - | 2019-07-10 |
7 | iFAB抛光头性能测试软件 | iFAB抛光头测试 | V1.0 | 2019SR0708900 | 10100-0000 | - | 2019-07-10 |
8 | iFAB半导体设备智能管理系统 | iFAB | V1.0 | 2018SR019914 | 30200-4000 | - | 2018-01-09 |
作品著作权0
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