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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	吸盘	外观专利	CN202130269097.7	CN306822473S	2021-09-14
2	一种硅片的导片系统	发明专利	CN202110494654.4	CN113394145A	2021-09-14
3	一种调整机构	实用新型	CN202021197009.3	CN213846588U	2021-07-30
4	一种双层反应腔体结构	实用新型	CN202022645565.9	CN213845292U	2021-07-30
5	一种用于镀膜设备的电极组结构	实用新型	CN202020158314.5	CN213739675U	2021-07-20
6	一种用于贴膜系统的对接装置	实用新型	CN202021484548.5	CN213737909U	2021-07-20
7	一种切刀机构	实用新型	CN202021196835.6	CN213081524U	2021-04-30
8	一种用于贴膜系统的定位装置	实用新型	CN202021484365.3	CN213042897U	2021-04-23
9	一种导片机	发明专利	CN202011300760.6	CN112420572A	2021-02-26
10	一种扩散一拖一自动上下料系统	发明专利	CN202011297370.8	CN112420571A	2021-02-26

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