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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种一体式中波红外激光雷达发射装置	实用新型	CN202023258248.8	CN214478418U	2021-10-22
2	一种一体式中波红外激光雷达发射装置	发明专利	CN202011594841.1	CN112636154A	2021-04-09
3	一种晶圆夹持装置	实用新型	CN201922103501.3	CN211208416U	2020-08-07
4	一种晶圆夹具	实用新型	CN201922103490.9	CN211208415U	2020-08-07
5	一种晶圆夹具	发明专利	CN201911201105.2	CN111128842A	2020-05-08
6	一种晶圆夹持装置	发明专利	CN201911201117.5	CN110993555A	2020-04-10
7	基于板条结构的大功率355nm紫外激光器	发明专利	CN201210577615.1	CN103022870B	2015-10-21
8	基于板条结构的大功率355nm紫外激光器	发明专利	CN201210577615.1	CN103022870A	2013-04-03

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