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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	高精度隧道式加速度计及其制备方法	发明专利	CN200310122478.3	CN100356177C	2007-12-19
2	微机电系统器件的真空封装方法	发明专利	CN02100469.2	CN1259231C	2006-06-14
3	高精度隧道式加速度计及其制备方法	发明专利	CN200310122478.3	CN1635381A	2005-07-06
4	微机电系统器件的真空封装方法	发明专利	CN02100469.2	CN1363509A	2002-08-14

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