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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	显影添加剂组合物	发明专利	CN202110858023.6	CN113534623A	2021-10-22
2	适用于硫酸-双氧水体系的减铜加速剂	发明专利	CN202110858067.9	CN113529086A	2021-10-22
3	适用于MSAP制程的差异性蚀刻药水	发明专利	CN202110858017.0	CN113445052A	2021-09-28
4	一种按溶液配比自动计量装置	实用新型	CN202020567447.8	CN212701792U	2021-03-16
5	一种按溶液成分配比一次性进料系统	实用新型	CN202020567441.0	CN212701791U	2021-03-16
6	一种液态化学品制备系统	实用新型	CN202020574853.7	CN212068644U	2020-12-04
7	一种用于制备化学品的投料防挥发装置	实用新型	CN202020567423.2	CN212068638U	2020-12-04
8	一种液体搅拌仓进料口的防护设备	实用新型	CN202020568791.9	CN212068569U	2020-12-04
9	一种多角度液体搅拌搅拌装置	实用新型	CN202020613361.4	CN212068384U	2020-12-04
10	一种纵横交错液体搅拌仓	实用新型	CN202020613345.5	CN212068383U	2020-12-04

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