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地址：北京市北京经济技术开发区经海四路156号院12号楼5层

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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	扫描电子显微镜装置和电子束检测设备	发明专利	CN202110746460.9	CN113471042A	2021-10-01
2	扫描电子显微镜装置和电子束检测设备	发明专利	CN202110746459.6	CN113471041A	2021-10-01
3	纵向运动平台及具有其的电子束检测设备	发明专利	CN202110571872.3	CN113394066A	2021-09-14
4	校准OM和SEM坐标关系的方法和装置、设备和存储介质	发明专利	CN202110607323.7	CN113379692A	2021-09-10
5	用于电子束缺陷检测的像素尺寸校准方法和装置及设备	发明专利	CN202110583651.8	CN113379622A	2021-09-10
6	掩模数据切割方法和装置、设备及存储介质	发明专利	CN202110607431.4	CN113378507A	2021-09-10
7	图像校准方法和装置、设备及存储介质	发明专利	CN202110607397.0	CN113327204A	2021-08-31
8	晶片转移装置、腔体装置、晶片处理设备	发明专利	CN202110136478.7	CN113314447A	2021-08-27
9	缺陷分类器和缺陷分类方法、装置、设备及存储介质	发明专利	CN202110607390.9	CN113298166A	2021-08-24
10	用于半导体器件的电子束检测设备、和电子束检测组件	发明专利	CN201911179973.5	CN110988003B	2021-08-13

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	中科晶源门户	www.zkjy-jx.com	京ICP备20018438号	企业	2020-05-25
2	中科晶源门户	www.zkjy-jx.com	京ICP备20018438号	企业	2020-05-25

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