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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	光学膜厚测试仪	实用新型	CN200820141227.8	CN201318934Y	2009-09-30
2	膜厚测量光路系统	实用新型	CN200820141226.3	CN201307000Y	2009-09-09
3	高压电源	实用新型	CN200820141225.9	CN201294653Y	2009-08-19

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