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  • 艾佛光通

    河源市艾佛光通科技有限公司

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    序号 专利名称 专利类型 申请号 公开(公告)号 公布日期
    1 一种硅背刻蚀FBAR谐振器及其制备方法 发明专利 CN202111386561.6 CN114070244A 2022-02-18
    2 对称负载层优化的单晶薄膜体声波谐振器及其制备方法 发明专利 CN202111385405.8 CN114070243A 2022-02-18

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