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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	特种气体过滤净化装置	实用新型	CN202022206521.6	CN214680927U	2021-11-12
2	高纯乙硅烷尾气处理装置	实用新型	CN202022167753.5	CN213528099U	2021-06-25
3	高纯乙硅烷纯化过滤装置	实用新型	CN202022167724.9	CN213528025U	2021-06-25
4	一种硅烷合成连续化装置	实用新型	CN202022224105.9	CN213434461U	2021-06-15
5	超净乙硅烷制备的分子筛吸附器	实用新型	CN202022222980.3	CN213433718U	2021-06-15
6	乙硅烷制备的尾气处理排放设备	实用新型	CN202022135020.3	CN213433713U	2021-06-15
7	高纯乙硅烷制备用精馏装置	实用新型	CN202022252878.8	CN213433043U	2021-06-15
8	一种硅烷连续化精馏装置	实用新型	CN202022251803.8	CN213433042U	2021-06-15
9	超净乙硅烷生产的低温精馏分离设备	实用新型	CN202022131754.4	CN213433037U	2021-06-15
10	高纯乙硅烷存储取样装置	实用新型	CN202022167730.4	CN213397834U	2021-06-08

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