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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种光学元件清洗装置	实用新型	CN201922410526.8	CN211757243U	2020-10-27
2	一种光学元件加工设备	实用新型	CN201922413487.7	CN211515407U	2020-09-18
3	一种光学元件生产用高效抛光装置	实用新型	CN201922413493.2	CN211414753U	2020-09-04
4	一种新型离子束抛光机	实用新型	CN201922413495.1	CN211414576U	2020-09-04
5	一种精密光学元件加工装置	实用新型	CN201922419107.0	CN211227310U	2020-08-11
6	一种光学元件夹具	实用新型	CN201922408180.8	CN211206908U	2020-08-07
7	一种新型射频离子源	实用新型	CN201922419071.6	CN210837644U	2020-06-23
8	一种射频离子源	实用新型	CN201920707277.6	CN209811889U	2019-12-20
9	一种离子束抛光机的腔体结构	实用新型	CN201920706581.9	CN209811888U	2019-12-20
10	一种射频离子源	发明专利	CN201910410936.4	CN110039383A	2019-07-23

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