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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种标准单元库的优化方法及系统	发明专利	CN201610173678.9	CN105868449B	2019-03-15
2	一种线条粗糙度的测量方法及系统	发明专利	CN201610645840.2	CN106352820B	2019-01-22
3	一种扫描电子显微图像的三维重构方法	发明专利	CN201510891707.0	CN105590338B	2018-08-10
4	一种自对准双重图形成像方法	发明专利	CN201510218532.7	CN106200272B	2017-10-27
5	五级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法	发明专利	CN201610140129.1	CN105607435B	2017-10-24
6	七级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法	发明专利	CN201610140991.2	CN105549138B	2017-10-24
7	一种边沿斜率控制的D类音频功率放大器的功率管栅极驱动器	发明专利	CN201310306452.8	CN103338013B	2017-02-01
8	一种线条粗糙度的测量方法及系统	发明专利	CN201610645840.2	CN106352820A	2017-01-25
9	一种自对准双重图形成像方法	发明专利	CN201510218532.7	CN106200272A	2016-12-07
10	一种标准单元库的优化方法及系统	发明专利	CN201610173678.9	CN105868449A	2016-08-17

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