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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	具有高精密计时控制的浸泡装置	实用新型	CN202021120771.1	CN212586326U	2021-02-23
2	具有高精密计时控制的浸泡装置及浸泡方法	发明专利	CN202010552584.9	CN111665114A	2020-09-15
3	评价晶片清洗效率的实验装置	实用新型	CN201921260992.6	CN211206291U	2020-08-07
4	一种颗粒物清除效率的快速评价方法	发明专利	CN201910720583.8	CN110426399A	2019-11-08
5	评价晶片清洗效率的方法及实验装置	发明专利	CN201910720622.4	CN110398500A	2019-11-01

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