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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种采用压阻/压电检测的微机械陀螺	发明专利	CN202111556879.4	CN114061556A	2022-02-18
2	一种MEMS压力传感器芯片的圆片级测试装置及测试方法	发明专利	CN202111127429.3	CN113866603A	2021-12-31
3	一种MEMS压力传感器的封装结构	发明专利	CN202110809850.6	CN113526455A	2021-10-22

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