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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种大尺寸高密度细晶粒ITO靶材的常压烧结制造方法	发明专利	CN201610244597.3	CN105712719B	2019-02-26
2	一种高纯低密度氧化钨靶材的制备工艺及氧化钨靶材	发明专利	CN201710218606.6	CN106977202A	2017-07-25
3	一种氧化铌旋转靶材及其制备方法	发明专利	CN201510397195.2	CN104961463B	2017-05-17
4	一种用于旋转靶材的外圆磨削夹具	实用新型	CN201620794681.8	CN206105614U	2017-04-19
5	一种氧化铌平面靶材的制备方法及氧化铌平面靶材	发明专利	CN201510398196.9	CN104973864B	2017-03-29
6	一种用于热压炉的分层烧结模具	实用新型	CN201620795657.6	CN205870831U	2017-01-11
7	一种高密度IGZO旋转靶材的制造方法	发明专利	CN201610245095.2	CN105906338A	2016-08-31
8	一种大尺寸高密度细晶粒ITO靶材的常压烧结制造方法	发明专利	CN201610244597.3	CN105712719A	2016-06-29
9	一种用于平面陶瓷靶材磨削立面的夹具	实用新型	CN201520489144.8	CN204772062U	2015-11-18
10	一种氧化铌平面靶材的制备方法及氧化铌平面靶材	发明专利	CN201510398196.9	CN104973864A	2015-10-14

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