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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种多级差分密封的真空腔室	实用新型	CN201720541589.5	CN207583247U	2018-07-06
2	一种丝杠安装结构及其安装方法	发明专利	CN201510334618.6	CN104930149B	2018-03-09
3	一种气密插座	实用新型	CN201720591037.5	CN207009786U	2018-02-13
4	一种分子泵	实用新型	CN201720540557.3	CN207004861U	2018-02-13
5	一种插板阀壳体	实用新型	CN201720323583.0	CN206988504U	2018-02-09
6	一种插板阀调整板	实用新型	CN201720323582.6	CN206988452U	2018-02-09
7	一种用于分子泵的涡轮静叶片组	实用新型	CN201520963283.X	CN205371073U	2016-07-06
8	一种阀门在大压差下的开启结构	实用新型	CN201520955927.0	CN205207868U	2016-05-04
9	一种新型插板阀	实用新型	CN201520955928.5	CN205207725U	2016-05-04
10	一种分子泵机组一键启停系统	实用新型	CN201520963282.5	CN205207236U	2016-05-04

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