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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	非晶硅薄膜太阳能电池及其制造方法	发明专利	CN201310313476.6	CN103606589A	2014-02-26
2	蒸镀装置和用于为其生产坩埚的方法	PCT发明	CN201280007567.0	CN103459650A	2013-12-18
3	一种高速生长硅基薄膜的低成本方法	发明专利	CN03103964.2	CN1273641C	2006-09-06
4	金属有机化学气相沉积大面积氧化锌透明导电膜反应器	实用新型	CN200520025309.2	CN2775071Y	2006-04-26
5	宽谱域低温叠层硅基薄膜太阳电池	实用新型	CN02294641.1	CN2593368Y	2003-12-17
6	光学参数测量装置	实用新型	CN02294292.0	CN2589970Y	2003-12-03
7	多功能光电参数测量装置	实用新型	CN02294293.9	CN2589968Y	2003-12-03
8	一种高速生长硅基薄膜的低成本技术	发明专利	CN03103964.2	CN1438358A	2003-08-27

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