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专利信息5

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种高密度NH₃+SiH₄弧放电等离子体发生装置	实用新型	CN201120573876.7	CN202473623U	2012-10-03
2	一种用于直流弧放电高密度等离子体发生装置的冷却板	实用新型	CN201220000880.9	CN202465873U	2012-10-03
3	一种用于弧放电高密度等离子体发生装置的阴极电极	实用新型	CN201120574359.1	CN202465872U	2012-10-03
4	一种三阴极多级直流弧放电等离子体发生装置	实用新型	CN201120128426.7	CN202111925U	2012-01-11
5	一种单阴极多级直流弧放电等离子体发生装置	实用新型	CN201120129195.1	CN202095169U	2011-12-28

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