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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	导热油沸腾炉	实用新型	CN201020701281.0	CN201952240U	2011-08-31
2	三氯氢硅尾气回收装置	实用新型	CN201020701284.4	CN201949786U	2011-08-31
3	三氯氢硅尾气处理的热量回收设备系统	实用新型	CN201020701283.X	CN201949785U	2011-08-31
4	三氯氢硅尾气吸收装置	实用新型	CN201020701274.0	CN201949784U	2011-08-31
5	三氯氢硅尾气变压吸附装置	实用新型	CN201020701275.5	CN201949776U	2011-08-31
6	袋式过滤器	实用新型	CN201020701285.9	CN201949746U	2011-08-31
7	袋式过滤器滤芯	实用新型	CN201020701282.5	CN201949745U	2011-08-31

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