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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种管式PECVD沉积氮化硅叠层减反射膜工艺	发明专利	CN201810413659.8	CN108695408B	2020-05-19
2	一种太阳能电池周转车	实用新型	CN201920901447.4	CN210258450U	2020-04-07
3	一种多主栅太阳能电池及光伏组件	实用新型	CN201821361104.5	CN208819893U	2019-05-03
4	一种管式PECVD沉积氮化硅叠层减反射膜工艺	发明专利	CN201810413659.8	CN108695408A	2018-10-23
5	一种氢原子钝化方法及氢原子钝化装置	发明专利	CN201810437078.8	CN108649101B	2018-10-12
6	一种氢原子钝化方法及氢原子钝化装置	发明专利	CN201810437078.8	CN108649101A	2018-10-12
7	一种解决铸造晶体硅长晶阴影缺陷的方法	发明专利	CN201410179617.4	CN103981569B	2017-08-18
8	一种解决铸造晶体硅长晶阴影缺陷的方法	发明专利	CN201410179617.4	CN103981569A	2017-08-18
9	一种RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法	发明专利	CN201610116059.6	CN105609591B	2017-07-11
10	一种RENA制绒、刻蚀机的补液阀门流量校准方法	发明专利	CN201610116059.6	CN105609591A	2017-07-11

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