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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于低温恒温腔的液氮传输杆	实用新型	CN202021934554.6	CN213177704U	2021-05-11
2	一种原位蒸镀的弱等离子刻蚀设备	实用新型	CN202022277392.X	CN212874428U	2021-04-02
3	一种低温温度传感器的安装结构	实用新型	CN202021907798.5	CN212871516U	2021-04-02
4	一种用于真空镀膜的双开型挡板结构	实用新型	CN202022034306.2	CN212560417U	2021-02-19
5	一种实现自动翻面的行星样品台	实用新型	CN202022036259.5	CN212505052U	2021-02-09
6	一种可自动翻面的行星架样品台	实用新型	CN202021803087.3	CN212505051U	2021-02-09
7	一种原位拉曼光谱检测的蒸发镀膜设备	实用新型	CN202021975812.5	CN212270222U	2021-01-01
8	一种原位蒸镀的弱等离子刻蚀设备	发明专利	CN202011094851.9	CN112103168A	2020-12-18
9	一种低温温度传感器的安装结构及安装方法	发明专利	CN202010916517.0	CN112067150A	2020-12-11
10	一种用于低温恒温腔的液氮传输杆	发明专利	CN202010927819.8	CN112050086A	2020-12-08

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