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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种磁控溅射装置及磁控溅射系统	实用新型	CN201621197024.1	CN206273836U	2017-06-23
2	一种锆靶材组件及磁控溅射装置	实用新型	CN201621196847.2	CN206273835U	2017-06-23
3	一种磁控溅射设备及磁控溅射系统	发明专利	CN201610973400.X	CN106498357A	2017-03-15
4	一种高比重合金的烧结方法	发明专利	CN201210533939.5	CN102974823B	2015-05-20
5	一种焊粉	发明专利	CN201110361730.0	CN102513723B	2014-07-16
6	一种高比重合金的烧结方法	发明专利	CN201210533939.5	CN102974823A	2013-03-20
7	一种粉末冶金过程的真空烧结方法	发明专利	CN201210534002.X	CN102962450A	2013-03-13
8	一种焊粉	发明专利	CN201110361730.0	CN102513723A	2012-06-27

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