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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	亚纳米级高精度写场拼接光刻机系统	实用新型	CN202021078739.1	CN212873186U	2021-04-02
2	一种步进式光刻机、其工作方法及图形对准装置	发明专利	CN202011412793.X	CN112445088A	2021-03-05
3	亚纳米级高精度光刻写场拼接方法、所用光刻机系统、晶圆及电子束漂移的测定方法	发明专利	CN202010533718.2	CN111983899A	2020-11-24
4	一种离子注入装置	发明专利	CN201510419657.6	CN105006417B	2017-06-13
5	一种多功能可编程信号发生参数测试系统	发明专利	CN201410117459.X	CN103941119B	2016-09-07
6	一种离子注入装置	发明专利	CN201510419657.6	CN105006417A	2015-10-28
7	一种多功能可编程信号发生参数测试系统	发明专利	CN201410117459.X	CN103941119A	2014-07-23

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序号	网站名	网址	备案号	主办单位性质	审核日期
1	百及纳米科技（上海）有限公司	www.parcan.tech	沪ICP备19037869号	企业	2019-11-28
2	百及纳米科技（上海）有限公司	www.parcan.com.cn	沪ICP备19037869号	企业	2019-11-28
3	百及纳米科技（上海）有限公司	www.parcan.cn	沪ICP备19037869号	企业	2019-11-28

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