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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	具有加热功能的静电吸盘及其制备方法	发明专利	CN202011087847.X	CN112259490A	2021-01-22
2	一种同心圆结构的静电吸盘电极图形结构	发明专利	CN202011087867.7	CN112234015A	2021-01-15
3	一种多层复合陶瓷盘及其制造方法	发明专利	CN202010234112.9	CN111620701A	2020-09-04

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