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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	原子力显微镜	实用新型	CN202122405677.1	CN215910518U	2022-02-25
2	原子力显微镜	实用新型	CN202122405627.3	CN215910517U	2022-02-25
3	原子力显微镜的Z扫描器和探针装置及探针装置安装器	发明专利	CN201710255058.4	CN107192854B	2020-12-04
4	施力结构以及基于其测量原子力显微镜探针的法向弹性常数的方法和应用	发明专利	CN201910744604.X	CN110470441B	2020-05-12
5	施力结构以及基于其测量原子力显微镜探针的法向弹性常数的方法和应用	发明专利	CN201910744604.X	CN110470441A	2019-11-19
6	原子力显微镜的Z扫描器和探针装置及探针装置安装器	发明专利	CN201710255058.4	CN107192854A	2017-09-22
7	一种适用于高速扫描的原子力显微镜系统	发明专利	CN201510089015.4	CN104634997B	2017-09-19
8	一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头	发明专利	CN201310514419.4	CN103529243B	2016-11-16
9	一种适用于高速扫描的原子力显微镜系统	发明专利	CN201510089015.4	CN104634997A	2015-05-20
10	一种光束跟踪式原子力显微镜扫描测头	发明专利	CN201310514419.4	CN103529243A	2014-01-22

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