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专利信息130

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种单透镜型检测晶片基底二维形貌和温度的装置	发明专利	CN201410693963.4	CN105698698B	2020-01-21
2	一种MOCVD设备实时测温系统自校准方法	发明专利	CN201310655576.7	CN104697638B	2018-12-25
3	一种MOCVD设备实时测温系统自校准装置及方法	发明专利	CN201310655598.3	CN104697639B	2018-12-07
4	一种薄膜生长的实时测温方法	发明专利	CN201310655561.0	CN104697637B	2018-12-07
5	一种自动检测晶片基底二维形貌的装置	发明专利	CN201410692768.X	CN105627951B	2018-07-31
6	一种单透镜型自动检测晶片基底二维形貌和温度的装置	发明专利	CN201410692587.7	CN105698845B	2018-06-29
7	一种在线实时检测外延片温度的方法	发明专利	CN201310651793.9	CN104697643B	2018-06-26
8	一种薄膜生长的自校准实时测温装置	发明专利	CN201310654540.7	CN104697636B	2018-05-01
9	自动检测晶片基底二维形貌的装置	发明专利	CN201410693636.9	CN105698706B	2018-03-30
10	检测晶片基底二维形貌的装置	发明专利	CN201410692862.5	CN105698705B	2018-03-30

共 13 页

软件著作权1

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	Viper RTS 应用软件	-	V2.0	2014SR088637	30208-3600	-	2014-07-01

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