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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种切割冷却装置	实用新型	CN202021496175.3	CN214263684U	2021-09-24
2	一种过滤罐	实用新型	CN202023263901.X	CN214261083U	2021-09-24
3	一种单晶炉配套设备撬装装置	实用新型	CN202023234404.7	CN213951416U	2021-08-13
4	一种单晶炉防震结构	实用新型	CN202021498010.X	CN213653511U	2021-07-09
5	一种三元掺杂半导体及其制备工艺	发明专利	CN202011609370.7	CN112853475A	2021-05-28
6	一种硅片清洗废水处理系统	发明专利	CN202011608724.6	CN112775089A	2021-05-11
7	一种硅材料工艺过程的控制方法及系统	发明专利	CN202010722596.1	CN111863156A	2020-10-30
8	一种硅料切割工艺	发明专利	CN202010723936.2	CN111805781A	2020-10-23
9	一种硅料清洗工艺	发明专利	CN202010722606.1	CN111673625A	2020-09-18
10	自动粘棒流水线	发明专利	CN201711133572.7	CN107866917A	2018-04-03

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