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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	晶圆加工方法	发明专利	CN201910523988.2	CN110126106B	2021-09-24
2	晶圆加工方法	发明专利	CN201910523988.2	CN110126106A	2021-09-24
3	晶圆吸盘及晶圆精雕固定装置	实用新型	CN201921349072.1	CN210650183U	2020-06-02
4	玻璃晶片抛光方法	发明专利	CN201910524678.2	CN110238707A	2019-09-17

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