商标信息0
专利信息7
序号 | 专利名称 | 专利类型 | 申请号 | 公开(公告)号 | 公布日期 |
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1 | 一种具有自清洁功能的蓝宝石刻蚀设备 | 发明专利 | CN202210019324.4 | CN114474436A | 2022-05-13 |
2 | 用于干法蚀刻设备机械手臂不间断供电的电池更换系统 | 实用新型 | CN202023047708.2 | CN214100952U | 2021-08-31 |
3 | 一种Scrubber设备进气管路自动冲洗装置 | 实用新型 | CN202023089433.9 | CN214078266U | 2021-08-31 |
4 | 一种用于冷盘的清洁系统 | 实用新型 | CN202023054648.7 | CN214078265U | 2021-08-31 |
5 | 一种光刻胶喷头清洁装置 | 实用新型 | CN202023046584.6 | CN214077445U | 2021-08-31 |
6 | 一种接近式软膜曝光微纳陷光结构的制备方法 | 发明专利 | CN201610489978.8 | CN106098843B | 2017-06-23 |
7 | 一种接近式软膜曝光微纳陷光结构的制备方法 | 发明专利 | CN201610489978.8 | CN106098843A | 2016-11-09 |
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