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专利信息6

序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	密封顶升装置	实用新型	CN202122489404.X	CN216928535U	2022-07-08
2	一种回流焊工艺模块结构	实用新型	CN202122580264.7	CN216729964U	2022-06-14
3	一种含火山灰的晶圆电镀板清洗液自动定量配制设备	实用新型	CN202122580896.3	CN216726752U	2022-06-14
4	一种回流焊工艺及其模块结构	发明专利	CN202111247406.6	CN114029578A	2022-02-11
5	密封顶升装置	发明专利	CN202111205239.9	CN114023685A	2022-02-08
6	一种腔体同步罩旋转装置	实用新型	CN201922501378.0	CN212493764U	2021-02-09

软件著作权7

序号	软件名称	软件简称	版本号	登记号	分类号	首次发表日期	登记批准日期
1	全柜式CUP清洗机控制软件	-	V1.0	2021SR1625083	-	2021-09-06	2021-11-03
2	ET200喷淋腐蚀机控制软件	-	V1.0	2021SR1620526	-	2020-11-19	2021-11-03
3	低温合金退火设备控制软件	-	V1.0	2021SR1606165	-	2021-06-15	2021-11-01
4	全自动晶圆环机控制软件	-	V1.0	2021SR1599456	-	2021-09-01	2021-11-01
5	全自动喷胶机控制软件	-	V1.0	2021SR1161612	-	2020-12-23	2021-08-06
6	全自动去胶剥离机软件控制系统	-	V1.0	2020SR1565677	-	2020-09-01	2020-11-11
7	全自动匀胶显影机软件控制系统	-	V1.0	2020SR1565636	-	2020-09-15	2020-11-11

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