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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种基于无掩膜光刻机的数字掩膜版工艺	发明专利	CN202110344156.1	CN113064330A	2021-07-02
2	一种多功能光电流测试平台	实用新型	CN202022690273.7	CN213580651U	2021-06-29
3	一种适用于光刻机设备外壳的结构	实用新型	CN202020890908.5	CN211741834U	2020-10-23
4	一种适用于太赫兹时域光谱仪中反射模式机构	实用新型	CN202020393750.0	CN211669058U	2020-10-13
5	一种投影式远端掩模板光刻方法及其设备	发明专利	CN202010518861.4	CN111552152A	2020-08-18
6	一种多功能测试平台	实用新型	CN201922336402.X	CN211263153U	2020-08-14
7	一种无掩模板光刻装置	发明专利	CN202010337223.2	CN111458987A	2020-07-28
8	一种适用于光偏振分辨的检测装置的安装机构	实用新型	CN201922095612.4	CN211042489U	2020-07-17
9	一种适用于太赫兹时域光谱仪的外壳封盖结构	实用新型	CN201921849477.1	CN210803260U	2020-06-19
10	一种多功能测试平台	发明专利	CN201911336798.6	CN110836854A	2020-02-25

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