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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构	发明专利	CN200910057364.2	CN101905434B	2012-07-25
2	晶圆背磨机的磨头调节机构	发明专利	CN200910057363.8	CN101905433B	2012-06-27
3	晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构	发明专利	CN200910057364.2	CN101905434A	2010-12-08
4	晶圆背磨机的磨头调节机构	发明专利	CN200910057363.8	CN101905433A	2010-12-08
5	晶圆背磨机的悬浮式可转动工作台	发明专利	CN200910057362.3	CN101905432A	2010-12-08
6	晶圆背磨机的磨头调节机构	实用新型	CN200920211038.8	CN201559119U	2010-08-25
7	晶圆背磨机的悬浮式可转动工作台	实用新型	CN200920211040.5	CN201552497U	2010-08-18
8	晶圆背磨机的旋转磨削吸盘调节机构	实用新型	CN200920211039.2	CN201552496U	2010-08-18

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