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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种晶圆键合加压装置	实用新型	CN202121559652.0	CN216488005U	2022-05-10
2	一种基片定位装置	实用新型	CN202121559131.5	CN216450611U	2022-05-06
3	一种基片卡夹装置	发明专利	CN202110778405.8	CN113697711A	2021-11-26
4	一种基片定位装置	发明专利	CN202110778398.1	CN113594075A	2021-11-02

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