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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	集合式干法制绒装置及生产线	发明专利	CN201710204649.9	CN106876527B	2019-07-19
2	一种碱清洗干法制绒工艺	发明专利	CN201810207602.2	CN108493270A	2018-09-04
3	太阳能硅片二合一自动上下料设备	实用新型	CN201720551624.1	CN206864490U	2018-01-09
4	集合式干法制绒装置及生产线	实用新型	CN201720327974.X	CN206595276U	2017-10-27
5	太阳能硅片二合一自动上下料设备	发明专利	CN201710350501.6	CN107093651A	2017-08-25
6	硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备	实用新型	CN201720012372.5	CN206301773U	2017-07-04
7	载板及使用该载板的太阳能电池生产设备	实用新型	CN201720003567.3	CN206301768U	2017-07-04
8	集合式干法制绒装置及生产线	发明专利	CN201710204649.9	CN106876527A	2017-06-20
9	硅片抓取装置及使用该装置的太阳能电池生产设备	发明专利	CN201710007033.2	CN106531678A	2017-03-22
10	一种适用于RIE制绒后晶体硅片的表面微腐蚀清洗方法	发明专利	CN201511022694.X	CN105449045B	2017-03-22

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