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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种光学检测设备的运动平台控制系统及控制方法	发明专利	CN202110903208.4	CN113341873A	2021-09-03
2	一种液晶面板动态调整装置	发明专利	CN201910447992.5	CN110187530B	2021-09-03
3	一种光学成像检测方法及设备	发明专利	CN201910447147.8	CN110186930B	2021-09-03
4	一种基于位置探测器的实时对焦装置及对焦方法	发明专利	CN202110880565.3	CN113329184A	2021-08-31
5	一种获取光学头最佳聚焦位置的方法和装置	发明专利	CN202110881507.2	CN113324481A	2021-08-31
6	一种用于晶圆检测的Z-Theta组合装置	发明专利	CN202110845560.7	CN113299585A	2021-08-24
7	缺陷检测方法、装置、设备及可读存储介质	发明专利	CN202110800459.X	CN113256635A	2021-08-13
8	一种光学头调平装置	实用新型	CN201920779884.3	CN210109443U	2020-02-21
9	一种成像线下控制玻璃基板飘高的气浮装置	实用新型	CN201920773971.8	CN210102923U	2020-02-21
10	基于图像清晰度的自动面型跟踪对焦系统及方法	发明专利	CN201910447143.X	CN110208289A	2019-09-06

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