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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机	实用新型	CN202020238511.8	CN212025441U	2020-11-27
2	一种用于热等静压Cr基靶材锭坯的装粉装置	实用新型	CN202021085352.9	CN211360655U	2020-08-28
3	一种用于生产PVD用靶材锭坯的装粉装置	实用新型	CN202020971840.3	CN211248328U	2020-08-14
4	一种高性能CrAlSiX合金靶材及其制备方法	发明专利	CN201911401707.2	CN111188016A	2020-05-22
5	一种钛硅合金靶材及其制造方法	发明专利	CN202010154164.5	CN111136265A	2020-05-12

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