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序号	专利名称	专利类型	申请号	公开（公告）号	公布日期
1	一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法	发明专利	CN201610083101.9	CN105741337B	2019-02-05
2	一种用于半导体无掩膜直写曝光设备的吸盘定位装置	实用新型	CN201620109029.8	CN205539930U	2016-08-31
3	一种用于光刻机对准曝光工序的物镜切换装置	实用新型	CN201620109028.3	CN205539929U	2016-08-31
4	一种适用于不同管径的光学镜筒水冷装置	实用新型	CN201620109031.5	CN205536739U	2016-08-31
5	一种用于光刻机矢量数据栅格化的三角形填充方法	发明专利	CN201610083101.9	CN105741337A	2016-07-06

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